Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd.는 중국의 하이드로플루오로에테르 hfe347 웨이퍼 세척 용제의 주요 제조업체 및 공급업체 중 하나입니다. 하이드로플루오로에테르 hfe347 웨이퍼 세척 용제를 찾고 계시다면, 저희 공장에서 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 구입하시기 바랍니다. 견적을 원하시면 저희에게 연락하세요.
웨이퍼 클리닝이란 무엇입니까? 전화번호:+86-592-5803997
웨이퍼 세정은 습식 화학조(예: RCA Clean)를 사용하여 실리콘 웨이퍼에서 입자, 유기물 및 금속 오염물질을 제거하는 중요한 반도체 공정입니다.,H2SO₄/H2O2), 용제(아세톤, 메탄올), 불화수소산(HF) 및 기계적 스크러빙 또는 메가소닉 방법을 사용한 피라냐 식각, 이어서 초순수 린스 및 질소 건조로 마이크로칩 제조를 위한 무결함 표면을 보장합니다.{1}}공정은 배치 담그기에서 정밀성을 위한 단일{2}}웨이퍼 스프레이로 발전합니다.
하이드로플루오로에테르 HFE347제로 ODP, 낮은 GWP, 불연성 및 잔류물 제로를 결합한 이 방법은 빠르게 팹 엔지니어가 선호하는 새로운 방법이 되었으며 이제는 기존 방법을 강력하게 보완하고 업그레이드하는 방법으로 간주됩니다.
웨이퍼 세정 공정 전화번호:+86-592-5803997
| 웨이퍼 세정 단계 | 목적 |
|---|---|
| 사전-확산 세척 | 금속, 미립자, 유기 오염물질이 없는 표면을 만듭니다. 어떤 경우에는 자연 산화물이나 화학적 산화물을 제거해야 합니다. |
| 금속이온 제거 세척 | 장치 작동에 해로운 영향을 미칠 수 있는 금속 이온을 제거합니다. |
| 파티클 제거 청소 | 메가소닉 세척을 사용하여 화학적 또는 기계적 스크러빙을 사용하여 표면에서 입자를 제거합니다. |
| 포스트 에칭 클린 | 에칭 공정 후 남은 포토레지스트와 폴리머를 제거합니다. 포토레지스트와 "에칭 폴리머"를 포함한 고체 잔여물을 제거합니다. |
| 필름 제거 청소 | 실리콘 질화물 에칭/스트립, 산화물 에칭/스트립, 실리콘 에칭 및 금속 에칭/스트립 |
기존 세척의 한계와 HFE의 전략적 역할 전화번호:+86-592-5803997
전통적인 RCA 웨이퍼 세척 공정은 고온-, 고순도-화학 수용액(예: SC-1, SC-2)을 사용합니다. 이온, 금속 오염물질, 입자 제거에는 탁월하지만 이 공정에는 두 가지 본질적인 한계가 있습니다.
포토레지스트 잔여물, 진공 펌프 오일, 실리콘 그리스, 정밀 부품의 고급 윤활제 등 특정 유기 오염물질에 대한 효능이 제한적입니다.
'물' 건조 과제: 물의 높은 표면 장력은 최종 건조 단계에서 심각한 위험을 야기하며, 특히 높은-종횡비-비 구조에서 패턴 붕괴 및 워터마크 잔여물로 이어지는 경우가 많습니다.
고급 하이드로플루오로에테르 용매인 HFE 347은 고유한 물리화학적 특성을 통해 이러한 문제점을 직접적으로 해결하여 "-웨트 클리닝의 정밀 건조-"를 위한 이상적인 매체로 자리매김했습니다.
웨이퍼 세정 하이드로플루오로에테르 HFE347의 기본 정보
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HFE(히드로플루오로에테르)는 에테르 결합(R-O-R')과 플루오로알킬 구조를 결합하여 수소, 불소, 탄소 및 산소로 구성된 유기 화합물의 한 종류입니다. 이 제품은 환경에 미치는 영향(예: 오존층 파괴 및 지구 온난화 가능성)을 줄이면서 불소계 용매의 우수한 성능을 유지하도록 설계되었습니다. HFE는 특히 전자, 반도체 및 항공우주 분야에서 정밀 세척제, 냉각수, 용매 운반체 등으로 널리 사용됩니다.
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화학명: |
1,1,2,2-테트라플루오로에틸 2,2,2-트리플루오로에틸에테르 |
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CAS: |
406-78-0 |
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MF: |
C4H3F7O |
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MW: |
200.05 |
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EINECS: |
609-858-6 |
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화학적 성질 |
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비등점 |
56.2도 |
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밀도 |
1.487 |
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굴절률 |
1.276 |
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비중 |
1.487 |
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CAS 데이터베이스 참조 |
406-78-0(CAS 데이터베이스 참조) |
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EPA 물질 등록 시스템 |
HFE-347pcf2 (406-78-0) |
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테스트 항목 |
명세서 |
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모습 |
투명한 무색 액체 |
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청정 |
99.5% 이상 |
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물 |
100ppm 이하 |
반도체 웨이퍼 세정 HFE 347 공장견학 전화번호:+86-592-5803997
반도체 세정 공급업체 - 회사 프로필 전화번호:+86-592-5803997
Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd.는 고급 전자 재료 분야로 진출하기 위해 중국 불소화학 산업의 선두주자인 Juhua Group(-)-이 투자한 전략적 기업입니다.
기본 불소 공급원료부터 고급 불소폴리머에 이르기까지 그룹의 전체 산업 체인 강점을 기반으로 하고 -장기적인 기술 전문성을 바탕으로 Juda는 국제 공급 장벽을 극복하고 핵심 전자 재료의 자급자족을 달성하는 것을 목표로 합니다.- 이 회사는 반도체, 집적 회로 및 기타 정교한 전자 응용 분야 생산에 필수적인 고성능-불소- 기반 솔루션을 전문적으로 제공합니다.
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